大(da)規(gui)模、高(gao)緊密、低(di)缺(que)欠SiC膜層CVD配制技藝

    本公司種植增碳硅瓷質圖片手腕，增碳硅瓷質圖片餐盤、增碳硅真空室吸盤等精密加工加工零部件，適用于IC研發技術性市場的硅片高速傳輸及首要生產工藝用晶圓的運載，為IC研發技術性業給出技術性撐起、。

    碳化硅陶瓷材料具有低膨脹、高導熱，高彈性模量等特點，本單位生產的真空吸盤采用中空、不對稱薄板結構設計，產品具有高穩定性、高輕量化及極低的晶圓接觸面積等特點；多孔吸盤可調整孔隙結構及孔隙率滿足不同工藝要求，產品具有良好的耐化學腐蝕性，目前真空吸盤及多孔吸盤已經應用于IC制造行業的各個環節。